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碳鍍膜機(jī)與高真空蒸發(fā)設(shè)備的區(qū)別

發(fā)布時(shí)間:2024-12-12 點(diǎn)擊量:481

碳鍍膜機(jī)與高真空蒸發(fā)設(shè)備的區(qū)別

碳鍍膜機(jī)主要分為僅有旋轉(zhuǎn)泵排氣的設(shè)備或配備渦輪泵的高真空蒸發(fā)設(shè)備。了解高真空蒸發(fā)設(shè)備性能的差異在選擇設(shè)備時(shí)非常有用。



旋轉(zhuǎn)泵排氣氣相沉積設(shè)備

VC-300S/W、VES-10
高真空抽真空沉積設(shè)備

VE-2013、VE-2050 等
真空排氣系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)泵旋轉(zhuǎn)泵+渦輪分子泵
沉積真空度1-2(帕)5×10 -3 (Pa)以下
顆粒感
顆粒細(xì),但膜較粗。

顆粒細(xì)密,膜質(zhì)美觀。
膜質(zhì)量該薄膜粗糙且易碎,因?yàn)樗谂c殘余分子碰撞時(shí)積累。無(wú)殘留分子,顆粒呈直線飛行、粘附,膜質(zhì)潔凈、堅(jiān)固。
環(huán)繞能力它在與殘余分子碰撞時(shí)向多個(gè)方向散射,因此具有一些環(huán)繞特性。顆粒沿直線飛行并粘附,但在陰影區(qū)域不形成薄膜。
使用碳?xì)庀喑练e的目的切片和支撐膜的加固、元素分析、高倍SEM觀察、FIB保護(hù)膜等。切片和支撐膜的強(qiáng)化、元素分析、高倍SEM觀察、FIB保護(hù)膜、碳支撐膜的制作、遮蔽法等。




























*碳鍍膜機(jī)是針對(duì)特定用途而設(shè)計(jì)的,其用途有限,但可以降低設(shè)備價(jià)格。

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該裝置是用于TEM、SEM、X射線分析等的碳膜生成裝置。用于防止樹(shù)脂嵌入樣品等的充電。 300W 用于創(chuàng)建特別厚的碳膜,例如 XMA 和 FIB 樣品的保護(hù)膜。

使用旋轉(zhuǎn)泵進(jìn)行碳沉積,同時(shí)使用皮拉尼真空計(jì)監(jiān)測(cè)真空水平。通過(guò)始終蒸發(fā)一定量的碳,可以實(shí)現(xiàn)高度可再現(xiàn)的碳沉積。

請(qǐng)使用專(zhuān)用補(bǔ)充裝SLC-30作為碳源。
300S有一對(duì)電極,300W有兩對(duì)電極。 300W 使您可以通過(guò)開(kāi)關(guān)將涂層厚度增加一倍。
旋轉(zhuǎn)泵(RP)為外置落地式。請(qǐng)將其安裝在堅(jiān)固的工作臺(tái)上,以免與RP的振動(dòng)產(chǎn)生共振。無(wú)需水冷。

該產(chǎn)品是一套裝置,包括裝置本身、旋轉(zhuǎn)泵和 SUS 軟管。
需要親臨現(xiàn)場(chǎng)講解安裝和操作。

VC-300設(shè)備規(guī)格


物品規(guī)格
電源AC100V(單相100V 15A)
設(shè)備尺寸W255mm x D375mm
x H430mm 重量 18kg
旋轉(zhuǎn)泵排氣速度 50?/min (GLD-051)
重量 14.6kg
樣品室尺寸內(nèi)徑120mm x 高140mm
樣品臺(tái)尺寸Φ100mm
氣相沉積源-樣品臺(tái)距離45mm 至 75mm 可調(diào)
可安裝樣品尺寸Φ98mm,最大樣品高度40mm
氣相沉積電源排氣、蒸發(fā)。
每個(gè)固定電壓進(jìn)行 2 步切換,預(yù)設(shè)為最佳電壓
碳源專(zhuān)用補(bǔ)充型碳SLC-30












VC-300 耗材清單


專(zhuān)用碳
SLC-30
1箱(100個(gè))

碳纖維
SLC-30
值 10 盒套裝

VC300玻璃鋼瓶包裝(2件1套)

VC300 玻璃腔體

如果夾緊彈簧和防塵板等零件出現(xiàn)劣化或損壞,我們還可以單獨(dú)制造它們。
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